超聲波清洗機的原理
[超聲波清洗機[第一次超聲波清洗]]

什么是超聲波清洗？

超聲波清洗可提高工業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量
超聲波清洗是一項利用超聲波振動(dòng)水和溶劑以清洗附著(zhù)在要清洗的物體（工件）上的油，細小灰塵和污垢的技術(shù)。在家附近，有一臺可用于清洗眼鏡的超聲波清洗機，可以在眼鏡店買(mǎi)到。工業(yè)用途：去除機器零件的模具，工具的切削油，切削粉/切屑（桐子），拋光粉（拋光粉）和脫模劑，電鍍前的除油清潔，無(wú)鉛印刷它被廣泛用于各種應用中，例如從基板上清除助焊劑和清潔半導體零件，并極大地提高了工業(yè)產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量。
另外，超聲波清潔器不僅用于“清潔"，還用于消泡/除氣，分散，攪拌和壓碎。

超聲波清洗原理

超聲波清洗通過(guò)結合超聲波的“物理作用"和清洗液的“化學(xué)作用"來(lái)獲得清洗效果。
●物理作用
空化，振動(dòng)加速，順流等。會(huì )剝落，分散和乳化污垢。
●化學(xué)作用
清洗液的化學(xué)作用和超聲波的化學(xué)反應促進(jìn)作用會(huì )溶解并分解污垢。

超聲波清洗的機理

空化清潔

液體中有無(wú)數的氣體分子，當將大約20kHz至100kHz的強超聲波施加到液體時(shí)，正負壓力會(huì )交替施加到氣體分子上。在下一瞬間，被正壓壓縮的氣體分子在負壓下急劇膨脹。由于這種重復，氣體分子在壓縮過(guò)程中具有非常高的壓力，在此極限下，它們破裂并消失。這種極大的沖擊壓力的產(chǎn)生被稱(chēng)為“氣蝕現象"，并且當氣泡破裂而作用于工件上以分離異物時(shí)沖擊波的作用被稱(chēng)為“氣蝕效應"。
它主要是中低頻的清潔動(dòng)作。
實(shí)際使用超聲波清潔器時(shí)，氣蝕發(fā)生的方式會(huì )根據液體深度和液體類(lèi)型而變化。因此，這些控制對于良好的超聲波清潔是需要的。低頻清潔

通過(guò)粒子加速清潔

在通過(guò)超聲波進(jìn)行的超聲波清洗中，水分子被加速并撞擊工件，并且該沖擊導致顆粒從工件上分離。頻率越高，效果越好，并且對于剝離粘附力較弱的非常細的顆粒有效。加速度與頻率的平方成正比地增加，并且波長(cháng)也減小，這對于更細的顆粒有效。

它主要是中高頻的清潔動(dòng)作。

直流清潔
當超聲能量為0.5W / cm 2以上時(shí)，從振動(dòng)表面朝著(zhù)一定距離產(chǎn)生直流。相信這有助于灰塵的散布。
它主要是中高頻的清潔動(dòng)作。中高頻清潔動(dòng)作

低頻清潔

間歇式清洗機

金屬和樹(shù)脂零件的脫脂清潔，精密金屬零件的清潔
空化的沖擊壓力可有效清除頑固的污垢。去除機器零件的模具，工具的切削油，切削粉/切屑（桐子），拋光粉（拋光粉）和脫模劑，電鍍前的除油清潔，去除無(wú)鉛印刷板上的助焊劑適用于“一般清潔"等。
但是，氣蝕的發(fā)生方式會(huì )根據液體深度和液體類(lèi)型而變化，因此，這些控制對于良好的超聲波清洗是需要的。管理不當不僅會(huì )阻止超聲波有效地浸入液體中，還會(huì )損壞振動(dòng)表面（腐蝕）并加速振動(dòng)板的劣化。

*侵蝕：一種現象，其中諸如鋁之類(lèi)的柔軟材料的表面被超聲波的空化現象所產(chǎn)生的物理力侵蝕。產(chǎn)生的腐蝕量與超聲波強度成正比，與頻率成反比。關(guān)于腐蝕◆關(guān)于駐波（清潔不均勻）當施加超聲波時(shí)，根據頻率在液體中會(huì )產(chǎn)生“駐波"。λ/ 2的每個(gè)整數倍都會(huì )導致大量污垢脫落。（Λ是一個(gè)波長(cháng)）清除污垢可能會(huì )損壞工作。為了減少駐波的影響，還考慮了工作擺動(dòng)和多頻振蕩。必須以平衡的方式確定清除污垢的難易程度和對工件的損壞。

您可以從實(shí)驗室/常規清潔中通過(guò)氣蝕看到小型超聲波清潔機的產(chǎn)品信息。
大型分離式超聲波清洗機的產(chǎn)品信息可用于工業(yè)用途。

中高頻清潔動(dòng)作

間歇式清洗機

半導體晶圓的批處理清洗

這是一種通過(guò)將多個(gè)半導體晶片放置在MHz頻段的超聲波清潔槽中同時(shí)清潔它們的方法。
（1）由于一次可清洗許多晶片，因此節省了時(shí)間
（2）與單晶片類(lèi)型相比，清洗液的量相對較少
（3）這種方法易于使用，例如雙槽化學(xué)藥品。已成為主流。
通常，當以批處理方式使用化學(xué)藥品時(shí)，通常使用浸入式清潔，其作為清潔槽和石英槽的雙重結構而間接照射。另外，通過(guò)使用石英罐，可以獲得避免洗脫金屬離子和雜質(zhì)并保持清潔的效果。
然而，已經(jīng)出現間歇式清潔的問(wèn)題，例如由于基板尺寸的增加而導致設備尺寸的增加以及由于基板圖案的小型化而導致的顆粒的重新附著(zhù)。

石英振動(dòng)式洗衣機

下一代清潔技術(shù)，損傷小，清潔度高

2006年，本多電子公司開(kāi)發(fā)了第一臺石英振動(dòng)超聲清洗裝置。在該方法中，通過(guò)在石英振動(dòng)體上疊加超聲波來(lái)清潔半導體晶片。與分批式和流水式相比，可以減少化學(xué)藥品的使用量，并且濕潤的部分僅是石英玻璃和耐化學(xué)性樹(shù)脂，并且填料等橡膠材料不會(huì )與液體接觸，因此很干凈。 .. 另外，通過(guò)改變石英振動(dòng)體的形狀，可以根據需要進(jìn)行有效的清潔，例如低損傷清潔，大面積清潔以及難以去除的斜面（端面）和槽口（晶片端面上的槽口）的清潔?？赡艿?。您可以從半導體行業(yè)中看到

石英振動(dòng)體式洗衣機的產(chǎn)品信息。

自來(lái)水式洗衣機

自來(lái)水型清洗

1986年由開(kāi)發(fā)。通過(guò)將MHz頻段的高頻超聲波疊加在從噴嘴輻射的自來(lái)水上，可以精確地清潔工件。輻射的自來(lái)水起著(zhù)傳播介質(zhì)的作用，用于在超聲波傳播的同時(shí)通過(guò)超聲波的作用剝離的污物。您可以從半導體行業(yè)中看到